使用带电气体的清除装置

主权项

一种使用带电气体的清除装置，包含：一载具；一处理单元，设置于该载具上，并包括一围绕出一腔室的壳体、一设置于该腔室中的电极机构、一与该电极机构电连接并用以供应电力的电源，及一设置于该壳体上，并用以控制该腔室与外界连通与否的供气阀；及一供应单元，设置于该载具上并与该处理单元之腔室连通，用以供应一气体至该腔室中；供应至该腔室中的气体由该电极机构进行处理而形成一带电气体，该带电气体是自该供气阀输出以进行清除作业。