发明名称 半导体覆晶接合结构及方法
摘要
申请公布号 TWI500129 申请公布日期 2015.09.11
申请号 TW101127901 申请日期 2012.08.03
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 萧友享;高金利;邱盈达;林光隆;李秋雯;杨秉丰;李长祺
分类号 H01L23/488;H05K3/34 主分类号 H01L23/488
代理机构 代理人 蔡东贤 台北市松山区敦化北路201号7楼;林志育 高雄市前镇区复兴四路12号9楼之13
主权项 一种半导体覆晶接合结构,包括:一第一半导体元件,具有一金属柱;一第一介金属化合物(Intermetallic Compound,IMC),直接位于该金属柱上;一第二半导体元件,具有一电性接点;一第二介金属化合物,邻接于该电性接点;及一焊料层,位于该第一介金属化合物及该第二介金属化合物之间,其中该金属柱之材质系为铜,该第一介金属化合物直接接触该铜金属柱,且该第一介金属化合物之材质与该第二介金属化合物之材质系相同,且其中该第一介金属化合物之材质与该第二介金属化合物之材质皆为(Cu,Ni)6Sn5。
地址 高雄市楠梓加工区经三路26号