| 发明名称 |
感光性树脂组成物、感光性乾膜以及图案形成方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI499864 |
申请公布日期 |
2015.09.11 |
| 申请号 |
TW099146133 |
申请日期 |
2010.12.27 |
| 申请人 |
麦库罗制程股份有限公司;台湾永光化学工业股份有限公司 |
发明人 |
上田昭史;中河原秀孝;渡边和夫;渡边茂辉;篮伟仁;林昭文 |
| 分类号 |
G03F7/022;G03F7/004;G03F7/11;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/022 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种感光性树脂组成物，包含：乙烯基系共聚物(I)，将含有具有酚性羟基的单体(a)以及含羧基的乙烯基系单体(b)的单体混合物聚合而获得；醌二叠氮化合物(II)；以及化合物(III)，由下述式(5)所表示，上述醌二叠氮化合物(II)是下述式(4-2)所表示的化合物或者下述式(4-3)所表示的化合物，与选自由1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸及1,2-萘醌二叠氮-4-磺酸所组成的组群中的至少一种化合物的酯，
Y为碳数1~6的直链或者分支的烃基；l及m分别独
立地为1~3的整数；n为1或2；p及q分别为0或1。 |
| 地址 |
桃园县观音工业区工业三路12号 |
