发明名称 化学增幅型光阻组成物及其所用之盐
摘要
申请公布号 TWI499578 申请公布日期 2015.09.11
申请号 TW099124726 申请日期 2010.07.27
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 市川幸司;吉田勋;山口训史
分类号 C07C309/17;C07D307/93;G03F7/039;G03F7/004 主分类号 C07C309/17
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种式(A1)所示之盐, [式(A1)中,Z+表示有机阳离子;Q1及Q2各自独立地表示氟原子或直链状或支链状的C1-6全氟烷基;La1表示-(CH2)m1-;m1表示1~6的整数;前述-(CH2)m1-的亚甲基系可经氧原子(-O-)或羰基(-CO-)取代;前述-(CH2)m1-的氢原子系可经直链状或支链状的C1-4脂肪族烃基取代;La2表示单键、-O-(CH2)L1-或-CO-O-(CH2)L1-;L1表示1~6的整数;前述-(CH2)L1-的亚甲基系可经氧原子或羰基取代;前述-(CH2)L1-的氢原子系可经直链状或支链状的C1-4脂肪族烃基取代;Ra1表示2价环式的C4-36脂肪族烃基或2价C6-18芳香族烃基;前述2价环式的脂肪族烃基的氢原子系可经卤素原子、直链状、支链状或环式的C1-12脂肪族烃基、C6-20芳香族烃基、C7-21芳烷基、环氧丙氧基、或C2-4醯基取代;或前述芳香族烃基的氢原子系可经卤素原子、直链状、支链状或环式的C1-12脂肪族烃基、C7-21芳烷基、环氧丙氧基、或C2-4醯基取代;前述直链状、支链状或环式的脂肪族烃基、或前述芳烷基的亚甲基系可经氧原子或羰基取代;Ra2系式(II-1)或式 (II-2)所示的脱离基],[式(II-1)中,Ra3及Ra4各自独立地表示氢原子、或直链状或支链状的C1-12脂肪族烃基;Ra5表示直链状、支链状或环式的C1-24脂肪族烃基;式(II-2)中,Ra6表示2价C2-24脂肪族烃基;Ra7表示直链状或支链状的C1-12脂肪族烃基]。
地址 日本