| 主权项 |
一种用于处理基材的设备，其包括：一处理腔室，其具有一下部组件以及一上部组件，该上部组件透过一铰合件以可移动式耦接该下部组件，其中该下部组件包括一腔室主体，该腔室主体具有配置在该腔室主体中的一基材支撑组件，且其中该上部组件包括一盖；以及一气体馈通件，其耦接至该腔室主体以及该盖，以助于一气体从一气体盘流至该处理腔室的内部，其中该气体馈通件包含一上部主体以及一下部主体，该上部主体从外部耦接(externally couple)该盖的一周边而该下部主体从外部耦接该腔室主体的一周边，使得该气体馈通件不会通过该腔室主体或该盖，其中该上部主体包括一个或多个上部通口，而该下部主体包括对应的一个或多个下部通口，且其中当该盖在关闭位置时，该一个或多个上部通口匹配该对应的一个或多个下部通口。
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