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发明名称 透明电极膜之清洁方法
摘要
申请公布号 TWI500081 申请公布日期 2015.09.11
申请号 TW101109127 申请日期 2012.03.16
申请人 岩谷产业股份有限公司;逸见计算尺股份有限公司 发明人 小池国彦;吉野裕;妹尾武彦;东周平;加藤雄二
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种透明电极膜之清洁方法，其特征为：在清洁附着于作为透明导电膜而生成氧化锌膜的透明导电膜生成装置的处理室内面的氧化锌膜时，使处理室内因氯化甲烷气体与氢气体形成富含氢的氯化甲烷氢混合气体环境，使处于该氯化甲烷氢混合气体环境之处理室内产生电浆，去除附着在处理室内面的氧化锌膜。
地址 日本
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