| 发明名称 |
水性研磨剂和接枝共聚物及其于研磨图案化且未结构化金属表面之方法之用途 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI499664 |
申请公布日期 |
2015.09.11 |
| 申请号 |
TW100105557 |
申请日期 |
2011.02.21 |
| 申请人 |
巴斯夫欧洲公司 |
发明人 |
拉曼 维杰 伊曼纽;古贝杜林 伊夏特;布兰斯 玛莉欧;李玉琢;佩瑞图钦 马克辛 |
| 分类号 |
C09K3/14;C09G1/02;C08F2/18;C08F2/22;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
一种水性研磨剂，其包含至少一种聚合物粒子(A)精细分散于水相中作为磨料，且该等聚合物粒子在其表面具有复数个能够与待研磨表面上之金属及/或金属氧化物相互作用且与该等金属及金属阳离子形成错合物之至少一种类型之官能基(a1)，该等聚合物粒子(A)可在至少一种含有复数个官能基(a1)之寡聚物或聚合物存在下，藉由乳化或悬浮聚合至少一种含有至少一个可自由基聚合之双键的单体来制备，其中该寡聚物或聚合物系选自由胺基三-聚胺缩合物、聚伸乙基亚胺及硷性α-胺基酸之聚胺基酸及多肽组成之群。 |
| 地址 |
德国 |
