| 主权项 |
一种化学增幅正型光阻组成物，其特征为含有高分子化合物(PB)及高分子化合物(PA)，上述高分子化合物(PB)具有以通式(1)及(2)表示之重复单位，
(式中，A表示单键，或于链之中间可含有醚性氧原子之碳数1~10之伸烷基，R1各独立表示氢原子或甲基，R2各独立表示碳数1~6之烷基，B1、B2及B3各独立为单键、或由可含有醚性氧原子之碳数1~10之直链状或分支状伸烷基，及可介隔醚性氧原子之碳数5~10之二价脂环式基所选出之一种或两种以上之组合组成之结合链，Z1及Z2表示单键、-CO-O-或-O-CO-，但，B1、B2及B3中含有醚性氧原子时，不成为-O-O-构造，Z2为-CO-O-或-O-CO-时，B3不为单键，R3及R4各独立表示氢原子、或碳数1~10之可含有杂原子之一价烃基，但，R3、R4不会同时为氢原子，R3及R4亦可相互键结与其所键结之氮原子一起形成环，此时表示碳数2~12之可含有杂原子之二价烃
基，且，B3与R3或B3与R4亦可键结，并与该等所键结之氮原子一起形成环，此时，含有该氮原子之环为5~7员环，但该氮原子之未共用电子对不成为对含有该氮原子之环赋予芳香族性之构造之环，又，含有该氮原子之环不成为芳香环，a为0~4之整数，b为1~5之正整数，p、q各独立表示0或1，t表示0~2之整数，但，q为0时，B1之与主链碳键结之原子为醚性氧原子，进而q为0且Z1及Z2为单键时，B1、B2及B3之一部分一定含有源自伸烷基之两个以上之连续碳原子)，且上述高分子化合物(PA)含有以下述通式(3)表示之重复单位及具有以酸分解性保护基保护之酸性侧链之重复单位，(式中，C表示单键、或可经取代或未经取代之碳数6~18之伸芳基，D表示单键、或一部分或全部之氢原子可取代成氟原子、或一部份之亚甲基可取代成醚性氧原子或羰基氧基之碳数1~15之二价烃基，R1与上述定义相同，R5、R6及R7各独立表示经取代或未经取代之碳数1~10之直链
状或分支状烷基、烯基或氧代烷基、或经取代或未经取代之碳数6~18之芳基、芳烷基或芳基氧代烷基，又，R5、R6及R7中之任两个亦可相互键结与式中之硫原子一起形成环，v表示0或1，但为0时C与D不同时为单键)高分子化合物全体中之合计重复单位中，以上述式(2)表示之重复单位之含有率为0.005~10莫耳%，上述高分子化合物(PB)亦含有以上述式(3)表示之重复单位，亦为高分子化合物(PA)，且使用之高分子化合物为单一材料时，以上述式(2)表示之重复单位之含有率为0.005~10莫耳%，另外调配上述高分子化合物(PA)及(PB)时，调配比(PA/PB)为99.5/0.5~0.5/99.5。 |
