铈系研磨材之再生方法

主权项

一种铈系研磨材之再生方法，其系为在从含有已使用过的铈系研磨材之由废研磨材浆液或研磨材废渣所构成之研磨废材中使铈系研磨材再生的方法，其中，该研磨废材为研磨材废渣，并且，预先对于该研磨材废渣进行藉由氢氟酸以外的酸而去除凝聚剂成分之凝聚剂去除处理，于该研磨废材中添加选自不包含氢氟酸之酸及其盐中之至少一种，使其成为浆液状态，并以周速4m/sec以上进行搅拌。