发明名称 研磨装置
摘要
申请公布号 TWI499479 申请公布日期 2015.09.11
申请号 TW100103807 申请日期 2011.02.01
申请人 V科技股份有限公司 发明人 工藤修二;平野贵文;水村通伸
分类号 B24B21/06;B24B49/00 主分类号 B24B21/06
代理机构 代理人 黄庆源 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;陈彦希 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项 一种研磨装置,具备有:研磨头,系以研磨带对于研磨对象物进行抵压,于基座构件之下部以正交于该研磨带之宽度方向之方向为轴进行摇动而装设;以及,带移送机构,用以移送卷挂于该研磨头之研磨带;其特征在于:该研磨带系于宽度方向两端具备有挟持着研磨面之平滑面,且该研磨面系和该平滑面为同一面或是相较于该平滑面呈凹陷;抵压该研磨带之该研磨头的抵压部系将该研磨带之宽度方向两端的该平滑面以及该研磨面朝研磨对象物进行抵压。
地址 日本