Deposition Film Forming Apparatus Including Rotating Members
摘要
<p>본 발명은 회전 부재를 포함하는 증착막 형성 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 복수의 기판 지지부를 포함하고, 각각의 상기 기판 지지부 상에는 복수의 기판이 배치되며, 각각의 상기 기판은 가스 포일(gas-foil) 방식에 의해 상기 기판 지지부 상에서 회전하는 것을 특징으로 하는 증착막 형성 장치를 제공한다.</p>
