Membrandickenmessgerät

摘要

Die Erfindung betrifft ein Membrandickenmessgerät (10) mit einem Membranhalter (12) zum Halten einer Membran (14) mit einer Membrandicke (tm) von weniger als 50 Mikrometern in einer Messstellung. Erfindungsgemäß vorgesehen ist eine erste Antastvorrichtung (18.1), die eine Tastspitze (20.1) und einen Antrieb (22.1) besitzt, mittels dem die Antastvorrichtung (18.1) aus einer Ruhelage, in der die Tastspitze (20.1) von der Membran (14) in der Messstellung beabstandet ist, in eine Antastlage, in der die Tastspitze (20.1) an die Membran (14) antastet, brinbgar ist, und eine Längenmessvorrichtung (64), die angeordnet ist zum Messen einer Position der Tastspitze (20.1), wobei die Antastvorrichtung (18.1) ein mikroelektromechanisches System ist.