| 摘要 |
<p>【課題】製造プロセスツールからの流出ガス流を処理する改善された放射バーナおよび流出ガス流処理方法を提供することにある。【解決手段】本発明の放射バーナは製造プロセスツールからの流出ガス流を処理するものであり、多孔スリーブを備えた燃焼チャンバを有し、燃焼物質が、燃焼のために燃焼チャンバを通って多孔スリーブの燃焼面に近接して流れ、流出ガス流を燃焼チャンバ内に噴射するための少なくとも１つの流出ガスノズルと、前記燃焼面に近接した孔穿きライナとを更に有している。孔穿きライナを設けることにより、燃焼チャンバ内に入る燃焼物質を制御して流出ガス流を処理でき、かつ残留燃焼堆積物を受ける表面が形成される。したがって、ライナは、流出ガス流の処理効率を改善できるとともに、メインテナンス計画にしたがって、または放射バーナの性能が低下したときに、交換または浄化できる犠牲表面として機能できる。【選択図】図１</p> |
