ＰＥＣＶＤ皮膜の検査方法

摘要

被覆プロセスの成果物を検査するための方法が提供される。特定の実施形態においては、被覆表面から被覆表面の近傍のガス空間への少なくとも１つ揮発性種の放出が測定され、この結果が、同じ試験条件下で測定された少なくとも１つの基準物の結果と比較される。ＰＥＣＶＤ皮膜を検知及び識別するための微量天秤での秤量方法も開示される。したがって、皮膜の存在又は欠如、及び／又は皮膜の物理的及び／又は化学的特性が特定されうる。この方法は、任意の被覆物品、例えば、容器を検査するのに有用である。有機ケイ素化合物前駆体から作製された、特にバリア皮膜のＰＥＣＶＤ皮膜の検査への、その適用もまた開示される。