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<p>Un píxel de sensor de imagen comprende un sustrato, una unidad de conversión fotoeléctrica sujetada por dicho sustrato, una guía de luz acoplada a dicha unidad de conversión fotoeléctrica, y medios antirreflejos para reducir la reflexión entre dicha guía de luz y dicha unidad de conversión fotoeléctrica. Un método para fabricar un pixel de sensor de imagen comprende formar una pila antirreflejos en una unidad de conversión fotoeléctrica sujetada por un sustrato, y formar una guía de luz adyacente a la unidad de conversión fotoeléctrica. Un método para formar una parte de un pixel de sensor de imagen comprende formar una primera película antirreflejos sobre un sustrato que sujeta una unidad de conversión fotoeléctrica, y un aislante sobre dicha primera película antirreflejos, grabar una abertura en el aislante mediante un agente de grabado que graba el aislante más rápido que la primera película antirreflejos, formar una segunda película antirreflejos dentro de la abertura, y formar material de guía de luz dentro de la abertura.</p> |
