| 摘要 |
【課題】 半導体製造工程に使われる接着剤製造時、所定の真空圧を用いて遠心分離器を動作させることで、シリンジに充填された接着剤内に存在する微細気泡を完全に除去するようにしたシリンジ充填物の気泡を除去する遠心分離装置を提供すること。【解決手段】円筒状の本体と、本体の上部に密閉して取り付けられる密閉蓋と、モーターの駆動によって回転される回転軸及び回転体と、前記回転体の４面に形成されたヒンジ軸に結合される取付部と、前記取付部に載置台を介在して設けられるシリンジと、前記本体の下端に連設される真空管及び真空解除管と、前記真空管に設置される真空センサーとを備える遠心分離機と、前記真空管を介して本体内部の圧力を所定圧力に下げる真空駆動部と、前記真空センサーにより検出された圧力値を制御部に入力するセンサー感知部と、前記モーターを駆動させて前記回転軸を回転させるモーター駆動部と、前記遠心分離機を作動・制御し、前記本体の内部圧力を所定値に一定に保持し、その設定されたＲＰＭおよび駆動時間に前記モーターを駆動制御する制御部とを含んでなることを特徴とする。【選択図】図１ |
