Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Oberflächenstruktur und Beschaffenheit einer Probe

摘要

Bei einem Verfahren zur Erfassung der Oberflächenstruktur und Beschaffenheit einer Probe mittels einer Abtasteinrichtung 2, insbesondere zur Erfassung von durch Berührung der Haut des menschlichen Körpers auf der Oberfläche eines Gegenstands hervorgerufene oder mittels eines Spurenträgers aufgenommene Spuren, wobei die Probe P und die Abtasteinrichtung 2 relativ zueinander bewegt werden, wird die Probenoberfläche mit einem von der Abtasteinrichtung 2 abgegebenen Licht- oder Laserstrahl L zeilenweise bestrahlt, der von der Probenoberfläche reflektierte Licht- oder Laserstrahl R erfasst und aus Abweichungen des reflektierten Licht- oder Laserstrahls R vom abgegebenen Licht- oder Laserstrahl (L) ein digitales Bild der Topographie der Probenoberfläche und der Intensität des reflektierten Licht- oder Laserstrahls (R) zur Darstellung der Beschaffenheit der Probenoberfläche erzeugt.