| 摘要 |
Винахід належить до запису і збереження інформації, і може бути використаний при виготовленні оригіналів оптичної сигналограми CD-, DVD-, BD- дисків, або направляючих доріжок реверсивних інформаційних дисків, а також може бути застосований при виготовленні синтезованих дифракційних оптичних елементів (плоских об'єктивів, просторово-частотних фільтрів, фотошаблонів коректорів хвильового фронту, растрів, лімбів, кругових шкал тощо). Спосіб виготовлення оригіналу оптичної сигналограми, що включає нанесення у вакуумі на дискову підкладку адгезійного шару і шару неорганічного фоторезисту на основі халькогенідного скла, його експонування модульованим гостросфокусованим лазерним пучком, і формування рельєфної структури шляхом селективного хімічного травлення фоторезисту. Як неорганічний фоторезист використовують шар халькогеніду германію бінарного складу GeSe, де 2≤х≤4, який потім відпалюють протягом 1-3 годин при температурі нижче T, де T- температура розм'якшення даного халькогеніду, а формування рельєфної структури здійснюють шляхом селективного хімічного травлення експонованих ділянок фоторезисту. За допомогою запропонованого способу реалізують технологічний процес на основі екологічно прийнятних сполук германію, а також підвищують якість резистів шляхом зменшення дефектності осаджених за допомогою термічного випаровування плівок халькогенідів. |
