| 摘要 |
<p>광을 산란(散亂)하기 위한 불규칙한 요철(凹凸) 표면을 가지는 기판을 제조하는 방법은, 불규칙한 요철 표면을 가지는 기판(100)을 제작하는 것과, 제작한 기판의 요철 표면(100a)에 법선(法線) 방향에 대하여 경사진 방향으로부터 검사광(122a)을 조사(照射)하고, 검사광의 요철 표면으로부터의 귀환광을 요철 표면의 법선 방향에 설치한 수광 소자(124)에 의해 검출하는 것과, 수광한 광강도에 기초하여 상기 요철 표면의 휘도 불균일을 처리 장치(126)에서 판정하는 것을 포함한다. 불규칙한 요철 표면을 가지는 회절 격자 기판을 가지는 유기 EL 소자를 높은 스루풋으로 생산한다.</p> |
