一种直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置及方法

摘要

本发明公开了一种直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置及方法，包括有曝光光源，反光镜倾斜设置在曝光光源的前方光路上，反光镜的反射光路上依次设置光学透镜组、图形发生器，图形发生器的下方依次设置投影镜头、功率探头，功率探头的信号输出端与功率显示器连接；通过把可编程图形发生器分成若干个等面积的小区域，在每个小区域分别投影白图，测试其对应的功率值，计算得出直写曝光机曝光面的功率均匀性，如果曝光面的功率均匀性不理想，可以通过调整照明模块中的反光镜加以改善。采用本发明，曝光图形的质量，尤其是曝光图形的线宽一致性可以得到很大的提高。

主权项

一种直写曝光机调整曝光面功率均匀性的装置，其特征在于，主要包括有三个模块，分别为照明模块、投影曝光模块、功率探测模块，照明模块包括有曝光光源、光学透镜组和一个反光镜， 投影曝光模块包括有可编程的图形发生器和投影镜头，功率探测模块包括有功率探头和功率显示器，反光镜倾斜设置在曝光光源的前方光路上，反光镜的反射光路上依次设置光学透镜组、图形发生器，图形发生器的下方依次设置投影镜头、功率探头，功率探头的信号输出端与功率显示器连接；所述的可编程的图形发生器为空间微反射镜阵列；基于所述装置的检测方法，包含以下步骤：(1) 打开曝光光源；(2) 把可编程的图形发生器分为等面积的axb个区域，分别在可编程的图形发生器的每个小区域投影白图，白图即为测试图形；(3) 分别记录每个测试图形对应的功率值W1，W2，W3，……Wn，其中，功率的最大值记为Wmax，功率的最小值记为Wmin，曝光面的功率均匀性U即为（Wmax‑Wmin）/（Wmax+Wmin）；(4) 如果曝光面的功率均匀性U不符合指标，则平移或者俯仰调整反光镜；(5) 重复步骤(1)—(4)，直到曝光面的功率均匀性U符合指标。