主权项 |
一种单晶炉,其特征在于,包括:炉体,位于所述炉体底部的护盘压片;位于所述护盘压片上的第一辅助电极通孔和第二辅助电极通孔,位于所述第一辅助电极通孔下方的第一辅助电极,位于所述第二辅助电极通孔下方的第二辅助电极;最大限度,并且均匀的分布于所述护盘压片表面的检测线,所述检测线的一端通过所述第一辅助电极通孔与所述第一辅助电极连接,所述检测线的另一端通过所述第二辅助电极通孔与所述第二辅助电极连接,且所述检测线与所述护盘压片绝缘;位于所述炉体外的检测电路,所述检测电路包括:检测线支路,所述检测线支路包括第一连接端和第二连接端,所述第一连接端连接所述第一辅助电极,所述第二连接端连接所述第二辅助电极;与所述检测线支路并联的报警支路,所述报警支路在所述检测线断路时发出报警信号;穿过所述第一辅助电极通孔的第一支撑部,所述第一辅助电极通过第一支撑部支撑所述单晶炉的加热器;穿过所述第二辅助电极通孔的第二支撑部,所述第二辅助电极通过第二支撑部支撑所述单晶炉的加热器;贯穿所述第一支撑部的第一固定部,所述第一固定部的一端与所述第一辅助电极固定连接,另一端与所述单晶炉的加热器固定连接;贯穿所述第二支撑部的第二固定部,所述第二固定部的一端与所述第二辅助电极固定连接,另一端与所述单晶炉的加热器固定连接;所述检测线与所述第一支撑部、第二支撑部、第一固定部和第二固定部绝缘;所述护盘压片、第一支撑部、第二支撑部、第一固定部和第二固定部的材料为石英。 |