一种半导体纳米光电探测器及其加工设备、加工方法

摘要

本发明提出了一种半导体纳米线光电探测器及其加工设备、加工方法，通过在液态介质中将纳米线材料附着在光电探测器上，实现适用于工业产业化生产的纳米线光电探测器制造技术；所提出的半导体纳米线光电探测器加工设备包括液体容器、夹持滴加装置、搅拌装置、第一驱动装置和第二驱动装置；夹持滴加装置由第一驱动装置驱动进入或离开液体容器，夹持滴加装置具有至少一个光电探测器夹持位和至少一个纳米线滴加端口；搅拌装置位于液体容器内由第二驱动装置驱动使液体容器内液体转动。本发明不需要重建生产线，只需在基于传统光电探测器的生产线尾部加装纳米线材料自组装设备即可，有效降低了生产成本，降低了对生产设备的要求，适用于产业化应用。

主权项

一种半导体纳米线光电探测器的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在液态介质中将纳米线材料附着在光电探测器上；S2：将S1中完成纳米线材料附着的光电探测器从液态介质中取出，干燥，得到半导体纳米线光电探测器。