基板升降销及基板处理装置

摘要

本发明涉及在基板支架的上部安放基板的升降销。基板升降销，升降销使基板安放到基板支架的上部并位于基板支架内部时，通过弹性支撑而使升降销的上部面与基板的下部面密贴。据此，使基板支架的热量通过升降销有效传递到升降销上部的基板，使基板维持均匀的温度防止膜质异常及斑纹的产生。

主权项

一种基板升降销，作为被插入垂直的贯通口(1b)而以上下相对运动并支撑基板(2)的升降销，其中所述贯通口比形成于基板支架(1)上部面的支撑槽(1a)的底面更狭窄，所述升降销，包括：主体部(10)，被插入所述贯通口(1b)，当基板支架(1)上升时，被所述支撑槽(1a)钩住而下降受限；销部(20)，上下运动地结合到所述主体部(10)，而支撑所述基板(2)的下部面；及弹性部(30)，在所述基板(2)安放到所述基板支架(1)上部面的状态下，施加弹性力而使所述销部(20)的上部面与所述基板(2)下部面密贴。