测长机日常检测与自动补正方法

摘要

本发明提供一种测长机日常检测与自动补正方法，包括：步骤1、在预设日常检测时间到达时，判断机台运行状况；步骤2、当机台处于空闲状态时，则停止进片；步骤3、测量机台上用于承载基板的平台上对位标记的坐标值，生成平台测量数据档，并将该测量得到的对位标记坐标值与预设标准坐标值进行对比；步骤4、如果测量的对位标记坐标值与预设标准坐标值之间的差异在预定差异范围内，则自动计算补正量，并将该补正量更新到平台坐标系参数档，完成自动补正；如果测量的对位标记坐标值与预设标准坐标值之间的差异超出预定差异范围，则报警提示；步骤5、根据预判的差异超出预定差异范围的原因，作出继续自动补正、不自动补正或进行大片基板测量确认。

主权项

一种测长机日常检测与自动补正方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、在预设日常检测时间到达时，判断机台运行状况；步骤2、当机台处于空闲状态时，则停止进片并转至步骤3；当机台处于非空闲状态时，则等到机台处于空闲状态时，停止进片并转至步骤3；步骤3、测量机台上用于承载基板的平台（20）上对位标记的坐标值，生成平台测量数据档，并将该测量得到的对位标记坐标值与预设标准坐标值进行对比；步骤4、如果测量的对位标记坐标值与预设标准坐标值之间的差异在预定差异范围内，则自动计算补正量，并将该补正量更新到平台坐标系参数档，完成自动补正，同时自动备份旧平台坐标系参数档，转至步骤14；如果测量的对位标记坐标值与预设标准坐标值之间的差异超出预定差异范围，则报警提示，并转至步骤5；步骤5、根据预判的差异超出预定差异范围的原因，作出继续自动补正、不自动补正或进行大片基板测量确认；步骤6、当继续自动补正时，转至步骤7；当不自动补正时，转至步骤13；当进行大片基板测量确认时，转至步骤8；步骤7、根据步骤3中的平台测量数据档自动计算补正量，并将该补正量更新到平台坐标系参数档，完成自动补正，同时自动备份旧平台坐标系参数档，转至步骤14；步骤8、测量置于机台上用于承载基板的平台（20）上的大片基板确认标记的坐标值，生成基板测量数据档，并将该测量得到的确认标记坐标值与预设确认坐标值进行对比；步骤9、如果测量的确认标记坐标值与预设确认坐标值之间的差异在预定差异范围内，则根据步骤3中的平台测量数据档自动计算补正量，并将该补正量更新到平台坐标系参数档，完成自动补正，同时自动备份旧平台坐标系参数档，转至步骤14；如果测量的确认标记坐标值与预设确认坐标值之间的差异超出预定差异范围，则报警提示，并转至步骤10；步骤10、根据预判的差异超出预定差异范围的原因，作出继续自动补正或不自动补正；步骤11、当继续自动补正时，转至步骤12；当不自动补正时，转至步骤13；步骤12、根据步骤3中的平台测量数据档自动计算补正量，并将该补正量更新到平台坐标系参数档，完成自动补正，同时自动备份旧平台坐标系参数档，转至步骤14；步骤13、如果不需要自动补正，转至步骤14；如果机台突发非常态异常，转至步骤15，所述突发非常态异常包括机构偏移与温度异常；步骤14、机台恢复进片功能，正常使用，机台日常检测与自动补正结束；步骤15、提示处理机台突发非常态异常，结束机台日常检测与自动补正。