一种判定GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积的方法

摘要

本发明公开了一种判定GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积的方法，所述方法包括：将被测太赫兹肖特基二极管固定在测试台面，利用直流测试用探针扎在太赫兹肖特基二极管的两个金属焊盘上；使用半导体测试仪测试太赫兹肖特基二极管的电流和电压；基于获得的电流和电压，利用公式（7）计算出肖特基二极管结面积，实现了快速鉴别管芯，对器件无损伤，成本较低的技术效果。

主权项

一种判定GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积的方法，其特征在于，所述方法包括：将被测太赫兹肖特基二极管固定在测试台面，利用直流测试用探针扎在太赫兹肖特基二极管的两个金属焊盘上；使用半导体测试仪测试太赫兹肖特基二极管的电流和电压；基于获得的电流和电压，利用公式(7)计算出肖特基二极管结面积，其中所述公式(7)为：$S=\exp \left[\frac{q(V_{\mathrm{bi}}-V)}{\mathrm{\eta kT}}\right]/98.65---\left(7\right)$其中，S为肖特基结的面积，单位为平方微米，q为电子电量，V_bi为肖特基势二极管内建电势，固定为0.8V，V为半导体参数测试仪测试得到肖特基二极管两端的电压，η为表征肖特基接触质量好坏的理想因子，k为玻尔兹曼常数，T为肖特基结的温度。