| 发明名称 | 压印用模具的制造方法、压印用模具、压印用模具制造组件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可以防止转印树脂向薄膜模具的接合部上的堆积的压印用模具的制造方法。根据本发明，可以提供一种压印用模具的制造方法，其具备：卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上；树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物；图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。 | ||
| 申请公布号 | CN104903072A | 申请公布日期 | 2015.09.09 |
| 申请号 | CN201380060898.5 | 申请日期 | 2013.11.18 |
| 申请人 | 综研化学株式会社 | 发明人 | 三泽毅秀;坂田郁美 |
| 分类号 | B29C59/04(2006.01)I;B29C33/38(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | B29C59/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳瑞天谨诚知识产权代理有限公司 44340 | 代理人 | 温青玲 |
| 主权项 | 一种压印用模具的制造方法，其具备：卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上；树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物；图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。 | ||
| 地址 | 日本东京都豊岛区高田3丁目29番5号 | ||