电子束熔炼制备钒靶材的方法

摘要

电子束熔炼制备钒靶材的方法，属于靶材的制备技术领域。以棒状、条状等不规则的金属钒材边角料或含钒90%的钒铝合金为原料，在电磁聚焦电子束熔炼炉中熔炼，采用下拉制锭，炉体内的压强为1x10^-1—1x10^-3Pa,电子枪电压2.5-3万伏，电流3-6安培，制成产品直径为100-150mm，锭长500-1300mm，该法生产出的产品纯度可达99.95%以上，完全可以满足离子镀膜对靶材的需求。对于废弃的钒靶还可以回收重熔，具有成本低、提纯效果好、工艺简单的特点。

主权项

电子束熔炼制备钒靶材的方法，其特征在于，用氩弧焊连接不规则的金属钒材边角料，或者用含钒90%的钒铝合金置于电磁聚焦电子束熔炼炉的料仓作为熔料电极；通过高能电子束对熔料电极进行轰击、熔化、熔炼，并在一直抽真空的条件下经过蒸发的方式获得高纯度的钒靶材。