宽带偏振光谱仪和光学测量系统

摘要

本发明公开一种宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、第一聚光单元、偏振器、第二聚光单元、第一平面反射镜、第二平面反射镜、探测单元。本发明还公开了包含该宽带偏振光谱仪的光学测量系统。本发明提供的垂直入射宽带偏振光谱仪不仅可以通过简单的操作进行聚焦，而且可以精确地控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。

主权项

一种宽带偏振光谱仪，其特征在于，包括：光源、分光元件、第一聚光单元、偏振器、第二聚光单元、第一平面反射镜、第二平面反射镜、探测单元；所述分光元件用于使来自所述光源的光束在入射至所述第一聚光单元之前部分地通过，以及接收从样品上反射的，且依次经过所述第一平面反射镜、所述第二平面反射镜、所述第二聚光单元、所述偏振器，并通过所述第一聚光单元将该光束反射至所述探测单元；所述第一聚光单元用于使所述光源发出的发散光束变成平行光束；所述偏振器设置于所述第一聚光单元和所述第二聚光单元之间，用于使所述平行光束通过并入射至所述第二聚光单元；所述第二聚光单元用于接收所述平行光束使其变成会聚光束，并将该会聚光束反射至所述第二平面反射镜；所述第二平面反射镜用于接收所述会聚光束并使其入射至所述第一平面反射镜；所述第一平面反射镜用于并将所述平行光束变成会聚光束，并将该会聚光束反射后垂直地聚焦到样品上；以及所述探测单元用于探测从样品上反射的且依次经过所述第一平面反射镜、所述第二平面反射镜、所述第二聚光单元、所述偏振器、并通过所述第一聚光单元反射的光束。