发明名称 | 超声波探头和制造超声波探头的方法 | ||
摘要 | 提供一种超声波探头和制造超声波探头的方法。所述方法包括:制备具有第一表面和第二表面的背衬层,由于在背衬层中形成有槽使得第一表面和第二表面具有不同的高度,其中,第一电极和第二电极分别暴露在第一表面和第二表面上;形成与第一电极接触的第三电极;在第三电极上形成基础压电层,基础压电单元包括压电层;通过去除基础压电单元的上部区域来形成压电单元;以及在背衬层和压电单元上形成第四电极。 | ||
申请公布号 | CN104887264A | 申请公布日期 | 2015.09.09 |
申请号 | CN201510096643.5 | 申请日期 | 2015.03.04 |
申请人 | 三星麦迪森株式会社 | 发明人 | 陈吉柱;朴正林 |
分类号 | A61B8/00(2006.01)I | 主分类号 | A61B8/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 韩芳;刘灿强 |
主权项 | 一种制造超声波探头的方法,其特征在于,所述方法包括下述步骤:制备具有第一表面和第二表面的背衬层,第一表面和第二表面由于在背衬层中形成有槽而具有不同的高度,其中,第一电极和第二电极分别暴露在第一表面和第二表面上;形成与第一电极接触的第三电极;在第三电极上形成基础压电单元,所述基础压电单元包括压电层;通过去除基础压电单元的上部区域来形成压电单元;以及在背衬层和压电单元上形成第四电极。 | ||
地址 | 韩国江原道洪川郡 |