| 发明名称 | 一种钒硅合金靶材及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种钒硅合金靶材及其制备方法，该靶材由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1～3:2，所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5％。该制备方法包括以下步骤：按比例称取钒粉与硅粉，并将两者充分混匀；将混匀的钒粉和硅粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒硅粉与粘结剂的复合粉末材料；将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作；取下喷涂所得的构件，并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒硅合金靶材均匀性好，稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行，无需模具设计和昂贵的压制设备，操作方便，制备所得的靶材溅射性能优良，杂质少，适用于光学镀膜。 | ||
| 申请公布号 | CN104894448A | 申请公布日期 | 2015.09.09 |
| 申请号 | CN201510315291.8 | 申请日期 | 2015.06.10 |
| 申请人 | 深圳市威勒达科技开发有限公司 | 发明人 | 徐玄;顾进跃;顾伟华;李巧梅;马辉 |
| 分类号 | C22C27/02(2006.01)I;C22C1/05(2006.01)I;B22F3/115(2006.01)I | 主分类号 | C22C27/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种钒硅合金靶材，其特征在于，由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1～3:2，所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5％。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区新洲南路金享楼2栋6楼南半层 | ||