测试分选机及测试分选机中测试托盘的循环方法

摘要

根据本发明的实施方式，提供了测试分选机中测试托盘的循环方法，该方法包括：在第一温度条件测试模式的情况下，首先使测试托盘沿着第一循环路径循环；以及，在不同于第一温度条件测试模式的第二温度条件测试模式的情况下，其次，使测试托盘沿着第二循环路径循环，其中，第一循环路径和第二循环路径至少在一些段中在测试托盘的传输方向上彼此不同。

主权项

一种测试分选机，包括：测试托盘，根据测试的温度条件而沿着第一循环路径或第二循环路径循环，所述测试托盘具有安装在其上的半导体装置；装置传输部分，用于将待测试的所述半导体装置从对象托盘传输至位于装载位置处的所述测试托盘，或根据所述测试的结果对所述半导体装置进行分类并将完成测试的所述半导体装置从位于卸载位置处的所述测试托盘传输至所述对象托盘；多个运输装置，通过所述装置传输部分的操作使具有安装在其上的待测试的所述半导体装置的所述测试托盘沿着所述第一循环路径或所述第二循环路径循环；第一室，用于容纳通过所述多个运输装置沿着所述第一循环路径或所述第二循环路径循环的所述测试托盘，所述第一室被设置成根据设定的第一温度条件将安装在所述测试托盘上的所述半导体装置同化至与所述第一温度条件相对应的温度；至少一个或多个第一温度调节器，用于将所述第一室的内部同化至所述第一温度条件；第二室，用于容纳通过所述多个运输装置沿着所述第一循环路径或所述第二循环路径循环的所述测试托盘，所述第二室被设置成根据设定的第二温度条件将安装在所述测试托盘上的所述半导体装置同化至与所述第二温度条件相对应的温度；至少一个或多个温度调节器，用于将所述第二室的内部同化至所述第二温度条件；测试室，设置在所述第一循环路径和所述第二循环路径上的所述第一室与所述第二室之间，所述测试室被设置成支持容纳于其中的安装在所述测试托盘上的所述半导体装置的测试；至少一个或多个第三温度调节器，用于将所述测试室的内部同化至测试的温度条件；以及控制装置，用于控制所述多个运输装置，以使所述测试托盘沿着所述第一循环路径或所述第二循环路径循环其中，所述第一温度条件和所述第二温度条件分别根据设定而变化，并且所述第一温度条件和所述第二温度条件彼此不同，以及其中，所述第一循环路径和所述第二循环路径至少在一些段中在所述测试托盘的传输方向上彼此不同。