低温泵系统及用于低温泵的再生方法

摘要

本发明提供一种缓和多个低温泵的压力差对再生工艺的影响的低温泵系统及用于低温泵的再生方法。低温泵系统（100）具备共用粗抽泵（73）且分别包含粗抽阀（72）的多个低温泵（10）、及为了多个低温泵（10）的再生而控制各粗抽阀（72）的CP控制器（20），在封闭已开放的粗抽阀（72）和开放已封闭的其他粗抽阀（72）之间设定延迟时间。

主权项

一种低温泵系统，其特征在于，具备：多个低温泵，共用粗抽泵且分别包含粗抽阀；及控制器，为了所述多个低温泵的再生而控制各粗抽阀，在封闭已开放的粗抽阀和开放已封闭的其他粗抽阀之间设定延迟时间，所述延迟时间为将粗抽配管的压力减压至接着进行粗抽的所述低温泵的压力以下所需要的时间，该粗抽配管连接所述粗抽泵和所述多个低温泵的所述粗抽阀。