一种磷扩散方法、P型电池制备方法及N型电池制备方法

摘要

本发明公开了一种磷扩散方法、P型电池制备方法以及N型电池制备方法，所述磷扩散方法包括：对扩散炉进行加热；当加热至三氯氧磷与氧气反应的温度后，通入设定流量的小氮以及氧气，并持续加热，其中，所述小氮为携带三氯氧磷的氮气，所述小氮的流量小于氧气的流量；当扩散内温度稳定在磷扩散要求的工艺温度后，使小氮的流量大于氧气的流量，开始磷扩散；预设时间的磷扩散后，进行退火处理。所述磷扩散方法在进行加热以及稳定炉温阶段，可去除硅片表面的金属离子，从而避免了进行磷扩散时，金属离子扩散入硅片内形成复合中心，采用所述磷扩散方法制备的P型电池以及N型电池具有较高的转换效率。

主权项

一种磷扩散方法，其特征在于，包括：对扩散炉进行加热；当加热至三氯氧磷与氧气反应的温度后，通入设定流量的小氮以及氧气，并持续加热，其中，所述小氮为携带三氯氧磷的氮气，所述小氮的流量小于氧气的流量；当扩散炉内温度稳定在磷扩散要求的工艺温度后，使小氮的流量大于氧气的流量，开始磷扩散；预设时间的磷扩散后，进行退火处理；其中，当所述小氮的流量小于氧气的流量时，所述氧气的流量范围为100sccm‑1500sccm，包括端点值，所述小氮的流量范围为30sccm‑200sccm，包括端点值；当小氮的流量大于氧气的流量时，所述氧气的流量范围为150sccm‑250sccm，包括端点值，所述小氮的流量为600sccm‑700sccm，包括端点值。