晶圆表面的超微量阴阳离子检测系统

摘要

本发明揭露了一种晶圆表面的超微量阴阳离子检测方法和设备系统。该系统包括微腔室处理装置和超微量阴阳离子检测装置。所述微腔室处理装置的上腔室部和下腔室部在打开和关闭位置之间相对移动，当所述上腔室部和所述下腔室部处于关闭位置时形成一微腔室，所述半导体晶圆安装于所述微腔室内，所述上腔室部和/或所述下腔室部包括一个或多个供超纯水进入所述微腔室的入口和一个或多个供超纯水处理液排出所述微腔室的出口。超微量阴阳离子检测装置将超纯水处理液中的阴离子和阳离子进行分离，随后分别对分离后的阴阳离子进行浓缩，之后分别对浓缩后的阴阳离子进行阴阳离子检测。这样，可以实现对晶圆表面的超微量阴阳离子进行在线检测和/或分析。

主权项

一种晶圆表面的超微量阴阳离子检测系统，其特征在于，其包括：微腔室处理装置，其包括上腔室部和下腔室部，所述上腔室部和所述下腔室部在一驱动装置的驱动下在一装载和/或移除半导体晶圆的打开位置和一用于容纳该半导体晶圆的关闭位置之间相对移动，当所述上腔室部和所述下腔室部处于关闭位置时形成一微腔室，所述半导体晶圆安装于所述微腔室内，所述上腔室部和/或所述下腔室部包括一个或多个供超纯水进入所述微腔室的入口和一个或多个供超纯水处理液排出所述微腔室的出口；超微量阴阳离子检测装置，其将超纯水处理液中的阴离子和阳离子进行分离，随后分别对分离后的阴阳离子进行浓缩，再分别对浓缩后的阴阳离子进行阴阳离子检测，所述超微量阴阳离子检测装置包括阴阳离子分离装置、阴离子浓缩装置、阳离子浓缩装置、阴离子检测装置和阳离子检测装置，所述阴阳离子分离装置接收来自微腔室处理装置的超纯水处理液，利用电去离子技术基于所述超纯水处理液得到含有阳离子的溶液和含有阴离子的溶液；所述阴离子浓缩装置接收来自所述阴阳离子分离装置的含有阴离子的溶液，先将该含有阴离子的溶液中的阴离子进行浓缩，而后通过所述阴离子检测装置对浓缩后的阴离子进行检测；所述阳离子浓缩装置接收来自所述阴阳离子分离装置的含有阳离子的溶液，先将该含有阳离子的溶液中的阳离子进行浓缩，而后通过所述阳离子检测装置对浓缩后的阳离子进行检测。