铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置

摘要

本发明公开了一种铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，该装置包括：外腔体，其设有用于基片进出的外腔体入口和外腔体出口，所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置；位于所述外腔体内的至少两个反应腔体，每个所述反应腔体设有用于基片进出的反应腔体入口和反应腔体出口，所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置，所述反应腔体上分别设有硒蒸汽管或硫蒸汽管；置于所述反应腔体外的多个加热器；包覆在所述反应腔体外的热反射层，所述加热器置于所述反应腔体和热反射层之间；以及输送基片进出所述反应腔体的输送机。采用本发明，可实现基片的硒化与硫化反应，确保硒化与硫化反应的工艺要求。

主权项

铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，其特征在于，包括：外腔体(10)，其设有用于基片(100)进出的外腔体入口和外腔体出口，所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置(11、12)；位于所述外腔体(10)内的至少两个反应腔体(20)，每个所述反应腔体(20)设有用于基片(100)进出的反应腔体入口和反应腔体出口，所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置(21、22)，所述反应腔体(20)上分别设有硒蒸汽管(40)或硫蒸汽管(50)；置于所述反应腔体(20)外的多个加热器(23)；包覆在所述反应腔体(20)外的热反射层(30)，所述加热器(23)置于所述反应腔体(20)和热反射层(30)之间；以及输送基片(100)进出所述反应腔体(20)的输送机(101)；所述外腔体(10)上设置有抽气口(13)；在相邻的两个反应腔体(20)之间设有多个第二加热器(230)，所述多个第二加热器(230)外设有第二热反射层(300)。