一种解理装置

摘要

本发明涉及半导体制备技术，尤其是提供一种解理装置，用于将半导体巴条解理为若干个芯片，其包括：一负压源，以及，一吸附腔体，通过一连接管与所述负压源连接；所述吸附腔体包括第一上盖和第二上盖，所述第一上盖与所述第二上盖成一夹角相互支撑形成脊部；所述第一上盖、第二上盖分别设有若干个通孔与跨设于所述第一上盖、第二上盖上的巴条对应，通过所述吸附腔体对巴条的吸附力，实现巴条以脊部为支点进行自然解理。本通过吸附作用对芯片结构面实现非接触式解理，可保护样品表面的结构不被损坏和提高良率。

主权项

一种解理装置，用于将半导体巴条解理为若干个芯片，其特征在于，其包括：一负压源，以及，一吸附腔体，通过一连接管与所述负压源连接；所述吸附腔体包括第一上盖和第二上盖，所述第一上盖与所述第二上盖成一夹角相互支撑形成脊部；所述第一上盖、第二上盖分别设有若干个通孔与跨设于所述第一上盖、第二上盖上的巴条对应，通过所述吸附腔体对巴条的吸附力，实现巴条以脊部为支点进行自然解理；所述通孔孔径小于一个芯片的宽度；所述夹角为大于170°且小于180°；第一上盖或第二上盖是水平设置的；所述第一上盖或第二上盖还设有划片台与所述脊部毗邻，一划片刀对应悬于所述划片台上方，用于在所述划片台上对所述巴条表面进行划片；所述吸附腔体还包括对应设于所述划片台底部的支撑组件，用于穿过所述划片台上开设的孔槽，对所述巴条施加与所述吸附力方向相反的支持力。