制备三氯氢硅的方法及其设备

摘要

本发明提出了制备三氯氢硅的方法及其设备，该方法包括：在反歧化催化剂的作用下，使得二氯二氢硅与四氯化硅在反歧化反应器中发生反歧化反应，以便获得包括三氯氢硅的反歧化反应产物。采用该方法可以将反应副产物二氯二氢硅转化为三氯氢硅，从根本上解决了回收后的二氯二氢硅无法充分利用而被迫用水（或碱液）淋洗造成硅物料浪费和后序废水处理难度大的问题。且采用该方法制备三氯氢硅，反应条件温和，对设备的压力、温度要求等相对较低，一次性投资小，运行成本低，二氯二氢硅单程转化率高，可在低成本下实现利用价值低的二氯二氢硅和四氯化硅转化为利用价值高的三氯氢硅，因此该方法具有很好的经济和环保效益。

主权项

一种制备三氯氢硅的方法，其特征在于，包括：在反歧化催化剂的作用下，使得二氯二氢硅与四氯化硅在反歧化反应器中发生反歧化反应，以便获得包括三氯氢硅的反歧化反应产物；从所述反歧化反应产物分离未反应的二氯二氢硅与四氯化硅；以及将所述二氯二氢硅和四氯化硅返回至所述反歧化反应器，其中，在将所述二氯二氢硅与四氯化硅通入反歧化反应器之前，对所述二氯二氢硅与四氯化硅进行预热，所述二氯二氢硅和四氯化硅中的磷总含量不大于20bbpw，硼总含量不大于400bbpw，所述反歧化反应器为列管式反歧化反应器，反应器体积空速为1～5h^‑1。