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经营范围
发明名称
ＣＶＤ成膜装置
摘要
申请公布号
JP5777688(B2)
申请公布日期
2015.09.09
申请号
JP20130243012
申请日期
2013.11.25
申请人
发明人
分类号
C23C16/44;C23C16/54
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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