宽带声耦合薄膜BAW滤波器

摘要

在基于压电薄膜上的横向声耦合的谐振器的体声波（BAW）滤波器中，能够使用不同属性的两种不同的声板波模式，例如厚度伸缩（纵向）TE1和第二简谐厚度切变（TS2）模式来形成带通响应。本发明基于属于便于传输信号的不同的板波模式的至少两个横向驻波谐振的激励。通带通过裁剪设备中的波的传播特性来设计，使得谐振在适合的频率下被激励以形成所期望的形状的通带。此处描述的滤波器的带宽因此能够为现有技术中的微声滤波器的带宽的两倍多。因此，具有显著的商业和技术价值。

主权项

一种声滤波器，包括：适用于声滤波器的材料的堆叠，所述堆叠包括至少一个压电层；至少两个谐振器，所述谐振器具有宽度和处于它们之间的间隙，所述谐振器包括位于压电层的不同侧面上的电极，其中所述压电层的至少一个侧面上的电极分离开，以形成至少两个谐振器区域，其特征在于，材料的堆叠、分离的电极的之间的间隙和宽度适于在声滤波器中产生至少两个不同的声板波模式，每一个声板波模式贡献至少一个横向驻波谐振，其中，所述声滤波器构造成适于在声滤波器中捕获具有总共至少三个横向驻波谐振的至少两个不同的板波模式。