压差传感器和压力传感器

摘要

一种用于测量过程变量的基于电容的压力传感器，其包括金属传感器主体，设置在金属传感器的腔内以形成可偏转的电容器极板的膜片，以及从端壁至所述腔延伸通过所述金属传感器主体的绝缘器。所述压力传感器还包括与所述腔流体连接的隔离管，该隔离管经过所述端壁延伸到所述绝缘器中；在所述腔中的所述绝缘器的表面上的固定的电容器极板，该固定的电容器极板与所述膜片间隔开；以及连接至所述固定的电容器极板并且平行于所述隔离管延伸穿过所述绝缘器且在所述端壁处离开所述绝缘器的电导线。填充流体在所述隔离管和所述腔内，以将压力施加到所述膜片上。

主权项

一种用于测量过程变量的基于电容的压差传感器，所述压差传感器包括：第一半单元，所述第一半单元包括：第一金属主体，所述第一金属主体具有第一外端壁和第一内壁；第一绝缘体，所述第一绝缘体延伸穿过所述第一金属主体至所述第一内壁处的第一表面；以及第一电容器极板，所述第一电容器极板在所述第一表面处定位在所述第一绝缘体上；第二半单元，所述第二半单元包括：第二金属主体，所述第二金属主体具有第二外端壁和第二内壁；第二绝缘体，所述第二绝缘体延伸穿过所述第二金属主体至所述第二内壁处的第二表面；以及第二电容器极板，所述第二电容器极板在所述第二表面处定位在所述第二绝缘体上；膜片，所述膜片连接在所述第一半单元的第一内表面与所述第二半单元的第二内表面之间的接合部处；第一隔离管，所述第一隔离管具有与第一内腔流体连通的第一端并且延伸穿过所述第一绝缘体以在所述第一外端壁处离开所述第一半单元；第二隔离管，所述第二隔离管具有与第二内腔流体连通的第一端并且延伸穿过所述第二绝缘体以在所述第二外端壁处离开所述第二半单元；第一电导线，所述第一电导线具有与所述第一电容器极板接触的第一端并且平行于所述第一隔离管延伸穿过所述第一绝缘体以在所述第一外端壁处离开所述第一半单元；第二电导线，所述第二电导线具有与所述第二电容器极板接触的第一端并且平行于所述第二隔离管延伸穿过所述第二绝缘体以在所述第二外端壁处离开所述第二半单元；第三电导线，所述第三电导线具有与所述第一半单元或第二半单元接触的第一端；第一填充流体，所述第一填充流体位于所述第一隔离管和所述第一内腔内；以及第二填充流体，所述第二填充流体位于所述第二隔离管和所述第二内腔内。