| 发明名称 | 一种光刻胶涂布及回收装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7，其特征在于：还包括旋转阀门3；所述旋转阀门3通过光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连；所述旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5相连；所述旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相连；所述动力装置7同时与旋转阀门3和光刻胶抽取装置4相连；所述旋转阀门3包括旋转阀芯3.1和旋转阀门内壳3.3，所述转阀芯3.1旋转一定角度后，设置于其上的通孔将光刻胶容器1和光刻胶抽取装置4连通，所述转阀芯3.1旋转另一角度后，设置于其上的通孔将光刻胶抽取装置4和涂布刮刀5连通。 | ||
| 申请公布号 | CN104898374A | 申请公布日期 | 2015.09.09 |
| 申请号 | CN201510293627.5 | 申请日期 | 2015.06.02 |
| 申请人 | 四川虹视显示技术有限公司 | 发明人 | 田朝勇 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人 | 王伟 |
| 主权项 | 一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器(1)、光刻胶传输管(2)、光刻胶抽取装置(4)、涂布刮刀(5)、涂布刮刀传输管(6)和动力装置(7)，其特征在于：还包括旋转阀门(3)；所述旋转阀门(3)通过光刻胶传输管(2)与光刻胶容器(1)相连，光刻胶传输管(2)上装有过滤器(2.1)和流量计(2.2)，光刻胶容器(1)内设置有温度监控器(1.1)；所述旋转阀门(3)通过涂布刮刀传输管(6)与涂布刮刀(5)相连；所述旋转阀门(3)通过螺纹与光刻胶抽取装置(4)相连；所述动力装置(7)同时与旋转阀门(3)和光刻胶抽取装置(4)相连。 | ||
| 地址 | 611731 四川省成都市高新区(西区)科新西街168号 | ||