| 发明名称 | 一种设有泵送管道压力监控装置的化学干法蚀刻机 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种设有泵送管道压力监控装置的化学干法蚀刻机，包含通过泵送管道依次连接的工艺室、隔离阀、自动压力控制器及干泵；自动压力控制器与干泵之间设置数字压力检测器；数字压力检测器设置在泵送管道的外侧；数字压力检测器用于检测泵送管道压力改变。泵送管道外侧均布多个O型圈。本发明能够监控泵送管道的压力改变，实时消除泵送管道前级APC组件和隔离阀的故障，防止泵送管道泄露。 | ||
| 申请公布号 | CN104900508A | 申请公布日期 | 2015.09.09 |
| 申请号 | CN201410075877.7 | 申请日期 | 2014.03.04 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 张程;王旭东 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人 | 张静洁;包姝晴 |
| 主权项 | 一种设有泵送管道压力监控装置的化学干法蚀刻机，其特征在于，包含：通过泵送管道（3）依次连接的工艺室（1）、隔离阀（4）、自动压力控制器（5）及干泵（2）；所述的自动压力控制器（5）与干泵（2）之间设置数字压力检测器（6）；所述的数字压力检测器（6）设置在泵送管道（3）的外侧；所述的数字压力检测器（6）用于检测泵送管道（3）压力改变。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||