高频电源装置

摘要

本发明涉及高频电源装置。在等离子体点亮开始时无需提高电源电压而使大电流在感应线圈中流过，从而提高点亮开始时的稳定性。在对直流电压进行切换的全桥驱动电路(13)、与包括等离子体生成用的感应线圈(21)的LC共振电路(19)之间，设置包括电感器(17)与电容器(18)的阻抗变换电路(16)。电容器(18)的电容能够切换成两个阶段，切换驱动部(23)负责该切换。在从等离子体熄灭了的状态起点亮时，使电容器(18)的电容相对变大，能够对LC共振电路(19)供给大电流。在等离子体点亮而成为稳定状态时，切换成使电容器(18)的电容相对小的状态，使阻抗匹配，以使得电力效率最大。

主权项

一种高频电源装置，具备：直流电压源、包括等离子体生成用的感应线圈与电容器的LC共振电路、以及包括对从所述直流电压源供给的直流电力进行切换而施加到所述LC共振电路的半导体开关元件的开关电路，通过对所述感应线圈接入高频电力来生成等离子体，所述高频电源装置的特征在于，具备：a)阻抗变换部，其介于所述开关电路与所述LC共振电路之间，能够将阻抗变换率切换成多个阶段；以及b)控制部，其使所述阻抗变换部动作，以使得在等离子体点亮开始前、与在该点亮开始后的稳态点亮时，切换所述阻抗变换率。