基于水解反应气相均匀沉积TiO₂薄膜的方法

摘要

本发明公开一种基于水解反应气相均匀沉积TiO₂薄膜的方法，其特征在于通过沉积头（3）的中心出气口（4）和两侧出气口（5），分别将含有钛前驱物和水蒸气的气流，输送至相对匀速移动的基底（1）表面，钛前驱物和水蒸气在基底表面发生反应，均匀沉积形成TiO₂薄膜。可在大气压和低温（10～100℃）下气相均匀沉积TiO₂薄膜，所制备的TiO₂薄膜是一种富含羟基的无定形结构，无需任何后续热处理在紫外光辐照下具有较高光催化活性，不仅具有沉积速率快、均匀性好、工艺和装置简单、操作方便等优点，而且还可节省能量、降低制作成本，可适用于各种材质的基底，尤其适用于非耐热材质的基底。

主权项

一种基于水解反应气相均匀沉积TiO₂薄膜的方法，其特征在于通过沉积头（3）的中心出气口（4）和两侧出气口（5），分别将含有钛前驱物和水蒸气的气流，输送至相对匀速移动的基底（1）表面，钛前驱物和水蒸气在基底表面发生反应，均匀沉积形成TiO₂薄膜；按如下步骤进行：a. 在大气压下，将基底（1）置于支撑台（2）上，基底（1）的温度为10～100℃，在所述基底（1）上方设置沉积头（3），支撑台（2）与沉积头（3）以10～200 mm/min的速度沿水平方向相对运动；b. 所述沉积头（3）上有竖直并列的中心出气口（4）和两侧出气口（5），中心出气口（4）和两侧出气口（5）的气隙宽度为0.5～15 mm；中心出气口（4）和两侧出气口（5）距基底（1）0.1~5 mm；c. 以惰气为载气、钛前驱物分压为10～500 Pa的气流以线速度为0.02～0.6 m/s从中心出气口（4）流出；以空气、氧气或惰气为载气、水蒸气分压为0.5～5 kPa的气流以线速度为0.02～0.6 m/s从两侧出气口（5）流出。