一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器

摘要

本发明涉及一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，包括罐体和过滤装置，靠近第二穿孔的罐体内侧壁上设有锥形结构的分离腔室，分离腔室的上环形开设有至少一个与罐体内腔相连通的进气孔，靠近第二穿孔的罐体外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管，第一穿孔上穿置有用于连通真空泵的清洁气体管，清洁气体管的另一端与分离腔室的前端部相连通，废气出口管通过第二穿孔与分离腔室相连通，过滤装置包括设在废气出口管外部的电动机和连接在电动机输出轴上的分离叶轮，分离叶轮设在分离腔室内。所述的一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，采用离心叶轮将带有氧化物的废气进行高速旋转分离，分离后干净气体通过真空泵抽入，过滤效果好。

主权项

一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，其特征是：包括用于盛装氧化物粉尘的罐体（1）和过滤装置，所述的罐体（1）侧壁上横向开设有第一穿孔和与第一穿孔相对的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐体（1）内侧壁上设有锥形结构的分离腔室（2），分离腔室（2）的上环形开设有至少一个与罐体（1）内腔相连通的进气孔（3），靠近第二穿孔的罐体（1）外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管（4），第一穿孔上穿置有用于连通真空泵的清洁气体管（5），清洁气体管（5）的另一端与分离腔室（2）的前端部相连通，废气出口管（4）通过第二穿孔与分离腔室（2）相连通，所述的过滤装置包括设在废气出口管（4）外部的电动机（6）和连接在电动机（6）输出轴上的分离叶轮（7），分离叶轮（7）设在分离腔室（2）内。