含有Co或Fe的溅射靶

摘要

本发明涉及一种烧结体溅射靶，在靶的抛光面上观察到的组织由分散有平均粒径为1.8μm以下的非磁性材料粒子的含有Co或Fe的金属相和金属颗粒构成，在将位于非磁性材料粒子的外周上的任意2点的距离的最大值设为最大直径、将以平行的两条直线夹持该粒子时两直线间的距离的最小值设为最小直径时，该最大直径与最小直径之差为0.7μm以下的非磁性材料粒子相对于在靶的抛光面上观察到的组织内的非磁性材料粒子为60％以上，并且，在将位于金属颗粒的外周上的任意2点的距离的最大值设为最大直径、将以平行的两条直线夹持金属颗粒时两直线间的距离的最小值设为最小直径时，该最大直径与最小直径之和为30μm以上的金属颗粒在1mm²视野内存在平均1个以上，该烧结体溅射靶能够抑制在溅射时成为粉粒产生的原因的由非磁性材料引起的异常放电。

主权项

一种溅射靶，其为包含在含有Co或Fe的磁性材料中分散有非磁性材料粒子的材料的烧结体溅射靶，其特征在于，在所述靶的抛光面上观察到的组织由平均粒径为1.8μm以下的非磁性材料粒子、分散有该非磁性材料粒子的含有Co或Fe的金属相以及金属颗粒构成，在将位于所述非磁性材料粒子的外周上的任意2点的距离的最大值设为最大直径、将以平行的两条直线夹持该粒子时两直线间的距离的最小值设为最小直径时，该最大直径与最小直径之差为0.7μm以下的非磁性材料粒子相对于在所述靶的抛光面上观察到的组织内的非磁性材料粒子占60％以上，并且，在将位于所述金属颗粒的外周上的任意2点的距离的最大值设为最大直径、将以平行的两条直线夹持该金属颗粒时两直线间的距离的最小值设为最小直径时，该最大直径与最小直径之和为30μm以上的金属颗粒在1mm²视野内存在平均1个以上。