化学药液分配系统

摘要

本实用新型公开了一种化学药液分配系统，包括：储液罐，具有回液入口和出液口；化学药液循环管线，一端与回液入口相连，另一端与出液口相连，该化学药液循环管线上设有循环泵；化学药液输出管线，一端与化学药液循环管线相连，另一端与工艺单元相连，该化学药液输出管线上设有流量计及阀门元件，该流量计用于检测工艺单元输入端的化学药液流量；控制器，用于控制所述循环泵的转速。其中，当需将化学药液输送到所述工艺单元、且所述阀门元件切换为使所述流量计与所述工艺单元之间的传输路径连通之前，所述控制器根据当前流量计检测的化学药液流量控制所述循环泵的转速。本实用新型能够在宽范围内调节工艺单元所需的工艺流量。

主权项

一种化学药液分配系统，其特征在于，包括：储液罐，用于存储化学药液且具有回液入口和出液口；化学药液循环管线，其一端与所述回液入口相连，另一端与所述出液口相连；所述化学药液循环管线上设有循环泵；化学药液输出管线，其一端与所述化学药液循环管线相连，另一端与工艺单元相连；所述化学药液输出管线上设有流量计及与该流量计相连的阀门元件，所述流量计用于检测所述工艺单元输入端的化学药液流量；控制器，用于控制所述循环泵的转速；其中，当需将所述化学药液输送到所述工艺单元、且所述阀门元件切换为使所述流量计与所述工艺单元的输入端之间的传输路径连通之前，所述控制器根据当前所述流量计检测的化学药液流量控制所述循环泵的转速。