一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置

摘要

本发明公开了一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置，属于吸收光谱法测量技术领域。解决了现有技术中测量装置成本高、测量结果不准确的问题。本发明的装置包括N个半导体激光器、N个第一折转镜、旋转台、选择棱镜、准直隔离器、模式匹配镜、反射谐振腔、光电探测器和数据处理模块，每个半导体激光器发射的光束先经光纤传输至相对应的第一折转镜，然后经选择棱镜反射后，从P点沿旋转台的旋转轴X依次经准直隔离器和模式匹配镜后进入反射谐振腔，从反射谐振腔出射后，再入射光电探测器，光电探测器将接收的光信号转换成电信号并传输至数据处理模块，数据处理模块对接收的电信号进行分析。该装置成本低，便于光路保持、测量误差小。

主权项

旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置，包括N个半导体激光器、准直隔离器(5)、模式匹配镜(6)、反射谐振腔(7)、光电探测器(9)和数据处理模块(10)，其特征在于，还包括N个第一折转镜(2)、旋转台(3)和选择棱镜(4)；所述选择棱镜(4)固定在旋转台(3)上；所述N个半导体激光器以旋转台(3)旋转轴X为中心分布于同一圆周上，半导体激光器与第一折转镜(2)一一对应，每个半导体激光器工作在nλ₀、nλ₀/2或者nλ₀/4覆盖的反射率在0.9999以上的波长范围内，n为反射谐振腔(8)内多层膜反射镜的等效折射率，λ₀为反射谐振腔(7)内多层膜反射镜的中心波长；所述N个第一折转镜(2)的输出光束均在同一平面A内，垂直于旋转台(3)的旋转轴X且与选择棱镜(4)交于同一点P；N为大于等于2的整数；所述装置的光路走向为：每个半导体激光器发射的光束先经光纤传输至相对应的第一折转镜(2)，然后经选择棱镜(4)反射后，从P点沿旋转台(3)的旋转轴X依次经准直隔离器(5)和模式匹配镜(6)后进入反射谐振腔(7)，从反射谐振腔(7)出射后，再入射光电探测器(9)，光电探测器(9)将接收的光信号转换成电信号并传输至数据处理模块(10)，数据处理模块(10)对接收的电信号进行分析。