半导体元件测试用分选机及该分选机中的测试支持方法

摘要

本发明涉及一种半导体元件测试用分选机及该分选机中的测试支持方法。在根据本发明的半导体元件测试用分选机中，通过扩展托盘移送器的功能而提高其利用率，并增加附带的构成要素，从而使通过新的测试而被分类为重新测试对象的半导体元件能够在新的测试过后接着顺利进行重新测试。因此，对全部的1批量物量进行的新的测试过程与重新测试准备过程能够以相互之间的干扰最小化的状态有机地组合，从而提高处理速度和容量。

主权项

一种半导体元件测试用分选机，其特征在于，包括：测试批量堆垛机，能够收纳装载有需要测试的半导体元件的客户托盘；测试支持部，从由所述测试批量堆垛机向引出位置移动过来的客户托盘中引出半导体元件之后将该半导体元件电连接于测试机侧，并根据测试结果而将半导体元件进行分类而引入到位于引入位置的客户托盘或位于重新测试位置的客户托盘，其中，所述引出位置是将需要测试的半导体元件从客户托盘引出的位置，所述引入位置是将通过测试的半导体元件引入到客户托盘的位置，所述重新测试位置是将作为重新测试对象的半导体元件引入到客户托盘的位置；第一收纳堆垛机，能够收纳所装载的半导体元件被所述测试支持部全部引出之后经过收纳位置而到来的客户托盘，其中，所述收纳位置是所装载的半导体元件被全部引出的空置的客户托盘从引出位置移送过来的位置；第二收纳堆垛机，能够收纳来自所述引入位置的客户托盘；第三收纳堆垛机，能够收纳来自所述重新测试位置的客户托盘；等待堆垛机，能够收纳将被供应到等待位置的空置的客户托盘，所述等待位置用于使将被移送到所述引入位置或重新测试位置的客户托盘等待；托盘移送器，能够在引出位置、引入位置、重新测试位置、等待位置之间移送客户托盘，所述托盘移送器包括：拾取器，能够拾取客户托盘；升降器，能够使所述拾取器升降；水平移动器，能够将所述拾取器移动到引出位置、引入位置、重新测试位置、等待位置的上方。