发明名称 SEMICONDUCTOR LOGIC CIRCUITS FABRICATED USING MULTI-LAYER STRUCTURES
摘要 반도체 디바이스 구조물을 제조하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다. 예시적인 반도체 디바이스 구조물은 제1 디바이스 층, 제2 디바이스 층 및 층간 접속 구조물을 포함한다. 제1 디바이스 층은 기판 상에 형성되고, 제1 전극 구조물을 포함한 제1 반도체 디바이스를 포함한다. 제2 디바이스 층은 제1 디바이스 층 상에 형성되고, 제2 전극 구조물을 포함한 제2 반도체 디바이스를 포함한다. 제1 층간 접속 구조물은 하나 이상의 제1 전도성 재료를 포함하고, 제1 전극 구조물 및 제2 전극 구조물에 전기적으로 접속하도록 구성된다.
申请公布号 KR101552024(B1) 申请公布日期 2015.09.09
申请号 KR20130150635 申请日期 2013.12.05
申请人 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 发明人 린 위-탕;완 크레멘트 싱젠
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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